關于等離子(zi)空氣消(xiao)毒機(ji)的機理，其實目前還沒有統一定論，但是根據試驗等離子空氣消毒機出現了各種有關機理的假說，無論是從物理還是化學方面可歸根為以下三種：
1、活性基團的作用：等離子體中含有的大量活性氧離子、高能自由基團等成分，極容易與細菌、霉菌及芽孢、病毒中蛋白和核酸發生化學反應，能夠摧毀微生物以及擾亂微生物的生存功能，使各類微生物死亡。
2、高速粒子擊穿作用：在滅菌實驗后，通過電鏡觀察經等離子體作用后的細菌菌體與病毒顆粒圖像，均呈現千瘡百孔狀，這是由具有高動能的電子和離子產生的擊穿蝕刻效應所致，即等離子體中高速粒子打破微生物分子的化學鍵，最后生成揮發性的化合物如COx、CHx等。
3、紫外線的作用：在激發物質形成等離子體的過程中，伴隨有部分紫外線產生，這種高能紫外光子被微生物或病毒中蛋白質所吸收，直接破壞微生物的基因物質致使其分子變性失活。研究表明： 在單一氣體中， 氣體對細菌孢子的殺滅作用不盡相同，殺菌效果強弱為O2 、CO2、H2 、Ar 和N2；而利用混合氣體激發等離子體，其殺菌消毒效果往往比單一中性氣體好。
